ASML:下一代EUV光刻機將于2025年首次部署
                                                                                2月15日,ASML發布2022年度財報。報告顯示,ASML在2022年銷售額達到212億歐元,與2021年相比增長了13.8%,毛利率為49.7%。 ASML總裁兼首席執行官Peter Wennink在年報中介紹,盡管2022年經歷了很多動蕩,但是ASML依舊取得了不錯的成績。預計到2025—2026 年,ASML將大幅提升產能,達到年產90臺EUV(極紫外光)光刻機和600臺DUV(深紫外光
                                                                                2023-02-17 15:50:46
                                                                                來源:中國電子報、電子信息產業網 沈叢??

                                                                                2月15日,ASML發布2022年度財報。報告顯示,ASML在2022年銷售額達到212億歐元,與2021年相比增長了13.8%,毛利率為49.7%。

                                                                                ASML總裁兼首席執行官Peter Wennink在年報中介紹,盡管2022年經歷了很多動蕩,但是ASML依舊取得了不錯的成績。預計到2025—2026 年,ASML將大幅提升產能,達到年產90臺EUV(極紫外光)光刻機和600臺DUV(深紫外光)光刻機。同時,在2027年到2028年,將增產20個高數值孔徑EUV光刻機。

                                                                                年報中對ASML最新光刻設備做了詳細介紹。年報顯示,最新一代的EUV 0.33 NA光刻系統TWINSCAN NXE:3600D,與前代產品TWINSCAN NXE:3400C相比,生產率提高了15%~20%,覆蓋率提高了約30%,同時還提高了系統可用性。EUV 0.55 NA是下一代EUV光刻系統,相比較于EUV 0.33 NA而言有更高的分辨率。該系統預計將于2025年首次部署,將在2025—2026年開始支持大批量生產。EUV 0.55 NA光刻系統TWINSCAN EXE:5000已經在2022年收到了采購訂單,預計該系統未來將達到每小時220片晶圓的生產率。

                                                                                年報顯示,2022年第三季度ASML推出了最新浸入式系統TWINSCAN NXT:2100i,該系統除了對透鏡計量、光罩調節和晶圓表的內在改進以及對整體交叉匹配改進外,NXT:2100i還具有對準優化器12顏色包等創新。該系統能提供每小時295片晶圓的生產率,能夠為3nm 及以下節點上的浸沒層的提供最具成本效益的解決方案。在干式系統中,最新TWINSCAN NXT:1470雙級ArF系統,可以打印分辨率低至220nm的圖案,用于200mm和300mm晶圓生產,實現每小時330個晶圓的生產率。

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